半導體設備
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暗場缺陷檢測設備
(NEXTIN)- 產品型號：AEGIS
- 刊登日期：2022/5/10
- 聯絡專員信箱：sw@sellingware.com.tw
AEGIS系列基於Nextin創新的2-D成像技術，以高靈敏度、高速度檢測各類1x-nm節點半導體工藝缺陷，使客戶的初始工藝穩定和晶圓良率的提高，成為業界領先的產品之一。最具成本效益的高性能晶圓檢測系統。
Nextin 的明場和暗場照明同時檢測及其獲得專利的雙鏡焦平面組裝技術以最快的速度進行高靈敏度檢測。通過支持 200 毫米和 300 毫米晶圓尺寸，AEGIS 晶圓檢測系統可以幫助客戶進行各種製造應用。
AEGIS 晶圓檢測系統不僅可以檢測橋接、減薄、突出和基腳等圖案缺陷，還可以檢測所有半導體製造過程中薄膜、圖案生成、平面化、離子注入和清潔過程中的划痕和顆粒，從而實現卓越的為客戶帶來投資回報。