矽菱企業股份有限公司 sellingware

We will provide the best service
whenever you need us.
:::
側邊選單開關

產品專區

:::

半導體設備

矽Si 碳化矽SiC氮化鎵GaN GaAs砷化鎵 基板 & 磊晶缺陷檢測

(Phys)
  • 產品型號：NIR-PLuS
  • 刊登日期：2023/7/25
  • 聯絡專員信箱：sw@sellingware.com.tw

PL量測是一種非接觸、非破壞性量測，利用PL可以檢測一般AOI設備所檢測不到的Bulk內部缺陷 & 雜質。相較於一般電性量測缺陷，PL 優點是速度快、解析度高，Bare wafer及Epi後均可檢測。

WPH: 300mm wafer map below 10 mints.

 

Defects types: Impurity, dislocation, pinhole, micro-crack, heavy doping.

Si Slip Dislocation

GaN缺陷檢測

GaAs PL defect map

Si晶片生長缺陷

SiC map before KOH

 

 

Si growth impurity / Slips 

矽菱企業全球的專業服務

Selling-Ware professional services

從 1990 年開始 33 年來，矽菱企業為專業代理半導體、光電、面板相關材料和設備的供應商。一直秉持著專業服務於半導體產業、光電產業、面板產業，代理產品均為韓國、日本、美國、德國、新加坡、馬來西亞、中國大陸知名品牌，這 33 幾年來的矽菱企業，累積多年經驗，熟悉市場及技術的未來發展，對新設備及材料高度掌握，成為科技大廠信賴的長期合作夥伴。公司總部設立於台灣新竹台元科技園區，並且在台中、高雄、昆山、蘇州、深圳、成都、西安、、武漢、晉江、北京、無錫將設立辦事處，提供客戶更優質的在地服務，並全力協助提升客戶競爭力為職志。