半導體設備
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非接觸式渦電流阻值量測
(SURAGUS)- 產品型號：NA
- 刊登日期：2026/2/10
EddyCus® ResMapper是一種全自動晶片成像設備（全自動型），配有自動晶片盒處理系統，用於晶片基底或塗層的全面積表徵，以確保半導體行業的工藝可靠性和品質保證。
該系統配備了兩個非接觸式渦流感測器，以傳輸模式運行。這樣就可以非常詳細地顯示基底材料或導電塗層的均勻性。
該設備通常用於
- 電阻率 0.1 - 100 mOhm-cm、
- 板材電阻從 0.0001 - 100,000 歐姆/平方英寸不等、
- 薄膜的金屬層厚度從 2 納米到 1 毫米不等、
- 總厚度變化範圍為 300 - 1,000 µm 和弓距 ± 1 毫米。