光學檢測系統

列真Lazin株式會社成立於2015年2月，是以開發製造鐳射檢測設備為主的技術開發型專業公司。列真在半導體光罩檢測設備上累積獨自技術，主產品LODAS™系列具有日本専利權的鐳射檢查技術，獲得2017年日本發明大賞獎勵。可同時探測收集鐳射的反射光，透射光以及共焦點。可探測Wafer& Epi的表面缺陷檢查，其解析度可達80nm。目前已有多家日本半導體大廠使用LODAS系列產品，例如信越、HOYA、羅姆、尼康、旭硝子等。列真光學檢測系統為光罩玻璃、矽、碳化矽及相關基板 & 磊晶提供了高可靠、高精度並快速的缺陷檢測，並提供即時的高解析度干涉顯微鏡，可直覺式即時確認defect影像，有效監控並進行製程&研發的改善，提升製程良率。