產品資訊
產品名稱矽Si 碳化矽SiC氮化鎵GaN GaAs砷化鎵 基板 & 磊晶缺陷檢測
代理廠牌Phys
產品型號NIR-PLuS
聯絡專員sw@sellingware.com.tw
產品詳細說明
PL量測是一種非接觸、非破壞性量測，利用PL可以檢測一般AOI設備所檢測不到的Bulk內部缺陷 & 雜質。相較於一般電性量測缺陷，PL 優點是速度快、解析度高，Bare wafer及Epi後均可檢測。
WPH: 300mm wafer map below 10 mints.
Defects types: Impurity, dislocation, pinhole, micro-crack, heavy doping.
Si Slip Dislocation
GaN缺陷檢測
GaAs PL defect map
Si晶片生長缺陷
SiC map before KOH
Si growth impurity / Slips