型號: W、PAC、P、S、M
▪ 全自動晶圓掃描聲學測試儀 (SAT)
▪ 多探針頭
▪ 換能器頻率：50~250MHz
▪ 掃描區域：300×300mm
▪ 外形尺寸：1750×2200×2000mm
