矽菱企业股份有限公司 sellingware

 列真Lazin株式会社成立于2015年2月，是以开发制造激光检测设备为主的技术开发型专业公司。列真在半导体光罩检测设备上累积独自技术，主产品LODAS™系列具有日本専利权的激光检查技术，获得2017年日本发明大赏奖励。可同时探测收集激光的反射光，透射光以及共焦点。可探测Wafer& Epi的表面缺陷检查，其分辨率可达80nm。目前已有多家日本半导体大厂使用LODAS系列产品，例如信越、HOYA、罗姆、尼康、旭硝子等。列真光学检测系统为光罩玻璃、硅、碳化硅及相关基板 & 磊晶提供了高可靠、高精度并快速的缺陷检测，并提供实时的高分辨率干涉显微镜，可直觉式实时确认defect影像，有效监控并进行制程&研发的改善，提升制程良率。