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侧边选单开关

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半导体设备

硅Si 碳化硅SiC氮化镓GaN GaAs砷化镓 基板 & 磊晶缺陷检测

(Phys)
  • 产品型号：NIR-PLuS
  • 刊登日期：2023/7/25
  • 联络专员信箱：sw@sellingware.com.tw

 PL量测是一种非接触、非破坏性量测，利用PL可以检测一般AOI设备所检测不到的Bulk内部缺陷 & 杂质。相较于一般电性量测缺陷，PL 优点是速度快、分辨率高，Bare wafer及Epi后均可检测。

WPH: 300mm wafer map below 10 mints.

Defects types: Impurity, dislocation, pinhole, micro-crack, heavy doping.

Si Slip Dislocation

GaN缺陷檢測

GaAs PL defect map

Si晶片生長缺陷

SiC map before KOH

 

 

Si growth impurity / Slips 

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从 1990 年开始 33 年来，矽菱企业为专业代理半导体、光电、面板相关材料和设备的供应商。一直秉持着专业服务于半导体产业、光电产业、面板产业，代理产品均为韩国、日本、美国、德国、新加坡、马来西亚、中国大陆知名品牌，这 33 几年来的矽菱企业，累积多年经验，熟悉市场及技术的未来发展，对新设备及材料高度掌握，成为科技大厂信赖的长期合作伙伴。公司总部设立于台湾新竹台元科技园区，并且在台中、高雄、昆山、苏州、深圳、成都、西安、武汉、晋江、北京、无锡设立办事处，提供客户更优质的在地服务，并全力协助提升客户竞争力为职志。