半导体设备
-
暗场缺陷检测设备
(NEXTIN)- 产品型号：AEGIS
- 刊登日期：2022/5/10
- 联络专员信箱：sw@sellingware.com.tw
AEGIS系列基于Nextin创新的2-D成像技术，以高灵敏度、高速度检测各类1x-nm节点半导体工艺缺陷，使客户的初始工艺稳定和晶圆良率的提高，成为业界领先的产品之一。最具成本效益的高性能晶圆检测系统。
Nextin 的明场和暗场照明同时检测及其获得专利的双镜焦平面组装技术以最快的速度进行高灵敏度检测。通过支持 200 毫米和 300 毫米晶圆尺寸，AEGIS 晶圆检测系统可以帮助客户进行各种制造应用。
AEGIS 晶圆检测系统不仅可以检测桥接、减薄、突出和基脚等图案缺陷，还可以检测所有半导体制造过程中薄膜、图案生成、平面化、离子注入和清洁过程中的划痕和颗粒，从而实现卓越的为客户带来投资回报。