型号: W、PAC、P、S、M
▪ 全自动晶圆扫描声学测试仪 (SAT)
▪ 多探针头
▪ 换能器频率：50~250MHz
▪ 扫描区域：300×300mm
▪ 外形尺寸：1750×2200×2000mm
