产品资讯
产品名称非接触式涡电流阻值量测
代理厂牌SURAGUS
产品型号NA
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产品详细说明
EddyCus® ResMapper是一种全自动芯片成像设备（全自动型），配有自动芯片盒处理系统，用于芯片基底或涂层的全面积表征，以确保半导体行业的工艺可靠性和质量保证。
该系统配备了两个非接触式涡流传感器，以传输模式运行。这样就可以非常详细地显示基底材料或导电涂层的均匀性。
该设备通常用于
- 电阻率 0.1 - 100 mOhm-cm、
- 板材电阻从 0.0001 - 100,000 奥姆/平方英寸不等、
- 薄膜的金属层厚度从 2 纳米到 1 毫米不等、
- 总厚度变化范围为 300 - 1,000 µm 和弓距 ± 1 毫米。
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